Auch "Quarzglasschiffchen".
Ein Warenträger zur Aufnahme eines ganzen Stapels von Siliziumwafern zur Plasmabehandlung im Niederdruckplasma, insbesondere durch Plasmaätzen. Es bsteht aus hochreinem Quarzglas, weil dieses durch den Ätzprozess praktisch nicht angegriffen wird.
Nähere Informationen dazu auch unter ⇒ Zubehör
