Unter Silikonreiniger versteht man oft auf auf Tensiden beruhende Reinigungsmittel. Dieses sind in der Lage, eine Oberfläche optisch zu säubern, sie entfernen aber nicht fest haftende Silikon-Filme.
Silikonreiniger in der Plasmatechnik sind Plasmaanlagen, die mit Sauerstoffplasma in der Lage sind, feinste Silikonrückstände vollkommen zu entfernen.