Durch eine Vakuumpumpe evakuierter gasdichter und druckfester Behälter, in dem sich Restgas unter geringem Druck befindet. Das Restgas können Luftreste auf Grund einer unvermeidlicher Leckrate oder auch über Dosierventile eingeleitete Gase unterschiedlichster Eigenschaft sein. Auch viele Substanzen, die unter normalen Atmosphärenbedingungen flüssig sind, können unter den sehr geringen Drücken gasförmig sein und als Gase in der Vakuumkammer vorliegen.
In Vakuumkammern können verschiedenste chemische und physikalische Reaktionen durchgeführt werden wie CVD-, PVD-Verfahren, Bedampfen, Sputtern und alle Niederdruck-Plasma-Prozesse (⇒ Plasmakammer).
