Edwards 真空泵 iQDP 80（干运行）

抽气速率：80 m³ h^-1

驱动电机：4.0 kW

最终压力，不使用气镇：3 x 10^-2 mbar

吸气法兰：ISO 63

出口法兰：DN 40 KF

注油：0.4 l

重量：216 kg