自动匹配系统 13.56 MHz

应用领域：

自动或手动调节低压等离子的 13.56 MHz 射频发生器

自动匹配系统，用于 13.56 MHz

• 射频功率范围：100 W/300 W
• 频率：13.56 MHz
• 射频运行方式：连续性或脉冲型
• 阻抗：50 Ohm
• 输入插接件：N 型插孔
• 输出阻抗：与所有 Diener electronic 公司出品的容积为 150 升的等离子体腔室相匹配 
• 射频输出端：功率高达 100 瓦特的N 型内置插孔，，或者功率高达 300 瓦特的 7/16 内置插孔
• 特别适合与 Diener electronic 公司的射频发生器或者其他 300 瓦特射频发生器（用于 13.56 MHz，可为正向和反向功率提供一个 0 到 10 伏信号）一同使用
• 配有微控制器 - 即可是独立控制，也可由设备 PC 控制
• 远程控制接口，用于：
  - 预设启动值
  - 手动/自动设置运行模式
  - 反馈当前设置
• RS232-接口用于软件更新或者远程控制
• 电源电压：88 - 264 VAC / 47 - 63 Hz
• 功耗：最大 65 瓦特
• 电源插头：IEC
• 重量：约 20 kg
• 规格：19 英寸插槽；3HE