射频发生器

应用领域：

• 低压等离子体
• 射频加热器

射频发生器 13.56 MHz，100 W

• 射频额定输出功率：100 瓦特
• 频率：13.560 MHz ± 100 ppm
• 可调的射频输出功率：0 - 100 瓦特，连续性
• 发生器可以产生脉冲：最小启动时间：5µs
• 阻抗：50 Ohms
• 射频稳定性：低于 5%（取决于所使用的调节设备）
• 从空闲输出端到短路，均安装了错配保护）
• 最大错配，无功率降低：VSWR = 1.2
• 全负荷接通式射频
• 电源接口：88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz（与外接电源配合）
• 功耗：最大 220 瓦特
• 远程控制接口，用于： 
  - 接通/关闭射频
  - 射频功率设置 (0...10 V = 0 ... 100 %)
• 射频输出端：N 型插孔
• 电源接口：外部电源模块
• 质量：约 6.5 kg（发生器）加 1.0 kg（电源）

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概况介绍，射频发生器 13.56 MHz