射频发生器
应用领域：
- 低压等离子体
- 射频加热器
射频发生器 13.56 MHz，300 W
- 射频额定输出功率：300 瓦特
- 频率：13.560 MHz ± 100 ppm
- 可调的射频输出功率：0 - 300 瓦特，连续性
- 发生器可以产生脉冲：最小启动时间：5µs
- 阻抗：50 Ohms
- 射频稳定性：低于 5%（取决于所使用的调节设备）
- 从空闲输出端到短路，均安装了错配保护）
- 最大错配，无功率降低：VSWR = 1.2
- 全负荷接通式射频
- 电源接口：88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz
- 功耗：最大 580 瓦特
- 远程控制接口，用于：
- 接通/关闭射频
- 射频功率设置 (0...10 V = 0 ... 100 %)
- 自动调节设备
- PC- 或等离子设备控制系统 - 射频输出端：N 型插孔
- 电源接口：IEC 嵌入式插头和过滤器
- 质量：约 18 kg
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