出租设备 NANO - 提供短期出租
具有24 升腔室容积和半自动控制系统的小型设备NANO主要应用于以下领域:
- 半导体技术
- 精密工程
- 电子技术
- 医疗技术
- 塑料技术
- 弹性体技术
- 研究和开发
- 塑料技术
概况介绍 NANO
技术参数:
开关柜:
宽 580 mm、高 650 mm、深 600 mm
腔室:
∅ 267 mm、长 420 mm
腔室容积:
约 24 升
气源:
2 个由针型阀控制的气体通道
发生器:
40 kHz / 300 W, 无级可调
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold,型号 D8B ( 8 m3/h)
部件支架:
1 个产品支架
控制系统:
半自动,通过计时器控制工艺时间
选装件 / 配件