出租设备 NANO UHP
具有 18 升腔室容积和半自动控制系统的小型设备 NANO UHP 主要应用于以下领域：
- 小批量生产
- 分析 (REM, TEM)
- 电子技术
- 医疗技术
- 塑料技术
- 弹性体技术
- 研究和开发
概况介绍 NANO
UHP 表示超高纯度。该标志适用于我们的等离子设备的玻璃接收器。其可按照客户需要由硼硅玻璃或石英玻璃制成。仅以下设备具有 UHP 选装件：Femto、Pico 和 Nano
会在微波设备中使用玻璃腔室，和/或需要一个超纯表面的时候会使用玻璃腔室。普通不锈钢或铝制腔室和等离子设备中的所有金属一样，能够以最小量对处理产品进行溅射。 这对于大多数工艺而言并不重要，完全可以忽略不计。 从 UHP 设备中取出的铝制零部件均用 AL2O3 进行了涂层。该设备未配备不锈钢接收器，其适用于 铬，镍和铁 痕迹会产生干扰作用的应用用途。
技术参数：
开关柜：
宽 580 mm、高 650 mm、深 600 mm
腔室：
∅ 240 mm、长 400 mm
（可选： 长 600 mm)
腔室开孔： ∅ 230 mm
材料：石英玻璃或硼硅玻璃
腔室的前壁和后壁：铝
腔室容积：
约 18 升
气源：
2 个由针型阀控制的气体通道
发生器：
40 kHz / 300 W, 无级可调
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
真空泵：
Leybold，型号 D8B (8 m3/h)
部件支架：
1 个产品支架
控制系统：
半自动，通过计时器控制工艺时间
选装件 / 配件