出租设备 PICO UHP - 提供短期出租
具有四升腔室容积和半自动控制系统的小型设备PICO UHP主要应用于以下领域：
- 小批量生产
- 分析(REM, TEM)
- 医疗技术
- 研究和开发部门
- 半导体技术
- 塑料技术
概况介绍 PICO
UHP 表示超高纯度。该标志适用于我们的等离子设备的玻璃接收器，其可按照客户需要由硼硅玻璃或石英玻璃制成。仅以下设备具有 UHP 选装件：Femto、Pico 和 Nano。
会在微波设备中使用玻璃腔室，和/或需要一个超纯表面的时候会使用玻璃腔室。普通不锈钢或铝制腔室和等离子设备中的所有金属一样，能够以最小量对处理产品进行溅射。这对于大多数工艺而言并不重要，完全可以忽略不计。 从 UHP 设备中取出的铝制零部件均用 AL2O3 进行了涂层。该设备未配备不锈钢接收器，其适用于铬，镍和铁痕迹会产生干扰作用的应用用途。
技术参数：
开关柜：
宽 550 mm、高 330 mm、深 500 mm
腔室：
∅ 130 mm、长 300 mm
腔室开孔： ∅ 125 mm
材料：石英玻璃或者硼硅玻璃
腔室的前壁和后壁： 铝
腔室容积：
约 4 升
气源：
2 个由针型阀控制的气体通道
发生器：
40 kHz / 100 W, 无级可调
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
真空泵：
Leybold，型号 Trivac D 2.5B (2.5 m3/h)
部件支架：
1 个产品支架
控制系统：
半自动，通过计时器控制工艺时间
选装件 / 配件