出租设备 TETRA-100-LF-PC - 提供短期出租
具有 100 升腔室容积和 PC 控制系统的生产设备 TETRA-100-LF-PC 主要应用于清洗、蚀刻和活化领域的生产。
概况介绍 TETRA
技术参数：
开关柜：
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm
腔室：
宽 400 mm、高 400 mm、深 625 mm
腔室容积：
约 100 升
气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器：
40 kHz / 0-2500 W
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
真空泵：
Leybold，型号 D 40 B (40 m3/h)
部件支架：
最多 10 个产品支架
（可选： 转鼓）
控制系统：
PC-控制系统 (Windows)
选装件 / 配件