出租设备 Tetra-30-LF

具有 30 升腔室容积和全自动控制系统的小型设备 TETRA-30-LF 主要应用于清洗、蚀刻和活化领域的生产。

概况介绍 TETRA

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 800 mm、深 650 mm

腔室：
宽 305 mm、高 300 mm、深 370 mm
（可选： 深 625 mm）

腔室容积：
约 34 升

气源：
2 个由针型阀控制的气体通道

发生器：
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

真空泵：
Leybold，型号 D 16 B (16 m³/h)

部件支架：
最多 6 个产品支架
（可选： 转鼓）

控制系统：
全自动，通过计时器控制工艺时间

选装件 / 配件