出租设备 TETRA-30-LF-PC - 提供短期出租

具有 30 升腔室容积和 PC 控制系统的小型设备 Tetra-30-LF-PC 主要应用于清洗、蚀刻和活化领域的生产。

概况介绍 TETRA

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2 200 mm、深 850 mm

腔室：
宽 305 mm、高 300 mm、深 370 mm
（可选： 深 625 mm）

腔室容积：
约 34 升

气源：
3 个由 MFC 控制的气体通道

发生器：
40 kHz / 0-1000 W
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

部件支架：
最多 6 个产品支架
（可选： 转鼓）

控制系统：
Windows 环境下的 PC-控制系统 

选装件 / 配件