该设备由三个单元组成：

1. 供电单元

• 电源接头
• 工艺气体和冷却气体的接头
• 高电压发生器
• 电流测量模块
• 气体控制模块
• 配有控制元件的前面板

2. 弹性管道中的供气和供电

3. 等离子体发生器：中心电极、外部电极和绝缘体形成了放电区

• 高电压发生器将电源电压转换为高电压（最高可达 10 kV），这对于形成电子放电而言是必须的，
• 电源电压和工艺气体经弹性管道通入至放电区中。
• 气流将电弧中所产生的活性粒子，特别是 (i+, e-, r*) 带出放电区（Plasma Jet-方法）。
• 活性气体流会通过专用的喷嘴成形件集中到待处理的工件上。

该设备由三个单元组成：

1. 供电单元

• 电源接头
• 高电压发生器
• 控制模块（微控制器控制）
• 配有控制元件的前面板
• 气源

2. 弹性管道中的供电和供气

3. 等离子体发生器：

两个电极形成了一个放电区

• 高电压发生器可产生高达 10 kV 的电压，这对于形成电子放电而言是必须的
• 通过弹性导线馈送供电电压
• 气流将电弧带出电极区域（Gliding Arc-方法）
• 电弧与表面直接接触

小心高电压！请不要触摸电弧及电极 - 生命危险！