外壳宽 600 mm、高 2000 mm、深 800 mm
腔室石英玻璃 (UHP)，配有盖子（约 ∅ 240 mm、深 390 mm）
腔室容积约 24 升
气源2 个由针型阀控制的气体通道12 个由质量流量控制器 (MFCs) 控制的气体通道
发生器1 件 (2.45 GHz\0 - 1500 W)
控制系统半自动型
