外壳外壳
腔室圆形不锈钢件（约宽 150 mm、高 150 mm、深 325 mm）
腔室容积约 5.74 升
气源通过质量流量控制器 (MFCs) 控制
发生器1 件 (150 W)
控制系统PC (Windows XPe)
