外壳宽 570 mm、高 730 mm、深 570 mm
腔室矩形不锈钢件配有铰链的门（约宽 300 mm、高 290 mm、深 370 mm）
腔室容积约 32 升
气源通过质量流量控制器 (MFCs) 控制
发生器1 件 (40 kHz)
控制系统PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)
