开关柜宽 2000 mm、高 1800 mm、深 1000 mm
腔室宽 1500 mm、高 2350 mm、深 1500 mm矩形铝材
腔室容积约 5200 升
气源通过质量流量控制器控制 2 种工艺气体
发生器3 件(分别为 40 kHz)
控制系统控制系统