10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：
- 小批量生产
- 分析 (REM, TEM)
- 医疗技术
- 灭菌
- 研究和开发部门
- 考古
- 纺织技术
- 塑料技术
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概况介绍 Atto
Low Cost System Atto
技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有手动控制系统
外壳：
宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室：
玻璃材质、∅ 211 mm、长 300 mm
腔室容积：
约 10.5 升
气源：
2 个由针型阀控制的气体通道
发生器：
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配
真空泵：
抽吸性能： 2 m3/h
部件支架：
1 个产品支架
控制系统：
手动型、通过模拟计时器测定工艺时间
技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有外部 PC 控制系统
外壳：
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室：
玻璃材质、∅ 211 mm、长 300 mm
腔室容积：
约 10.5 升
气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器：
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配
真空泵：
抽吸性能： 2 m3/h
部件支架：
1 个产品支架
控制系统：
PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)
技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有集成式 PC 控制系统
外壳：
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室：
玻璃材质、∅ 211 mm、长 300 mm
腔室容积：
约 10.5 升
气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器：
40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配
真空泵：
抽吸性能： 2 m3/h
部件支架：
1 个产品支架
控制系统：
PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)
技术参数： Plasma Cleaner Atto 配有集成式 PCCE 控制系统
外壳：
宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm
腔室：
玻璃材质、∅ 211 mm、长 300 mm
腔室容积：
约 10.5 升
气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器：
40 kHz / 200 W 或者 13.56 MHz / 50 W 固定搭配
真空泵：
抽吸性能： 2 m3/h
部件支架：
1 个产品支架
控制系统：
PC-控制系统 (Microsoft Windows CE)