Femto 等离子系统能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与Femto 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Femto 等离子系统主要应用于以下领域：
- 分析
- 考古
- 汽车行业
- 研究和开发部门
- 半导体技术
- 小批量生产
- 塑料技术
- 医疗技术
- 微系统技术
- 传感器
- 灭菌
- 纺织技术
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概况介绍 FEMTO
基本设备
- 根据具体组件/选装件，外壳会有所不同
- 腔室容积：根据具体版本，分为 1.9 - 6 升
- 供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位
气源
- 针型阀
- 质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
- 圆形不锈钢件，配有盖子
（大约 ∅ 100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm） - 矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 103 x 深 285 x 高 103) - 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门
（大约 ∅ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm） - 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
（大约 ∅ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm） - 配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门
（大约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或者长 600 mm）
装载件
- 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
- 单层或多层
- RIE
控制系统
- 半自动型
- PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
- PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
- Pirani
- Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器
- 数字型
发生器
| 频率： | 40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W |
| 13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W | |
| 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W |
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空泵
- 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。