专用设备

专用等离子设备 Tetra-2-PC，卷到卷

技术参数：

外壳：
宽 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm

腔室：
长 1050 mm、∅ 90 mm

腔室容积：
约 2 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化：
卷到卷

专用等离子设备 Tetra-15-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室：
宽 360 mm、高 150 mm、深 260 mm

腔室容积：
约 15 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-30-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 800 mm、高 600 mm、深 500 mm

腔室：
宽 240 mm、高 150 mm、深 240 mm

腔室容积：
约 30 升

气源：
1 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化：
本设备可集成于一条生产线中。

本设备可作为套件提供。

专用等离子设备 Tetra-100-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 2000 mm、高 2200 mm、深 2000 mm

腔室：
宽 700 mm、高 200 mm、深 700 mm

腔室容积：
约 100 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化：
本设备具有一个抽拉门

专用等离子设备 Tetra-120-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2150 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 1200 mm、高 150 mm、深 1700 mm

腔室容积：
约 120 升

气源：
4 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化：
本设备具有一个自动门

专用等离子设备 Tetra-130-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1800 mm、高 2100 mm、深 1300 mm

腔室：
宽 400 mm、高 400 mm、深 810 mm

腔室容积：
约 130 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道
（其中 1 个通过鼓泡器控制）
，1 个通过 2 路 2 通方向阀控制的气体通道单体

发生器：
1 件 (13.56 MHz)
（可选： 40 kHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

特性：
UHV-区配有涡轮泵

专用等离子设备 Tetra-140-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2100 mm、深 650 mm

腔室：
宽 1200 mm、高 700 mm、深 1500 mm

腔室容积：
约 140 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-140-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1000 mm、高 1800 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 1000 mm、高 100 mm、深 1400 mm

腔室容积：
约 140 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道，用于等离子聚合法的液态单体计量器

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-150-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1000 mm、高 2100 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 400 mm、高 600 mm、深 625 mm

腔室容积：
约 150 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或者 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化：
卷到卷，具有 400 mm 宽度和 300 mm 直径

专用等离子设备 Tetra-185-LF-PC Desmearing（除污工艺）

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2100 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 400 mm、高 665 mm、深 700 mm

腔室容积：
约 185 升

气源：
4 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

特性：

• 各种除污工艺材料（钻孔壁清洗）
• 表面清洗
• 金属表面活化
• 共 7 个插槽，适用于同时处理 7 个板件
• 可在生产前预切割为 460 x 610 mm

专用等离子设备 Tetra-210-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1560 mm、高 2350 mm、深 1860 mm

腔室：
宽 1000 mm、高 200 mm、深 1400 mm

腔室容积：
约 210 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件脉冲发生器
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-240-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 1700 mm、深 3200 mm

腔室：
宽 305 mm、高 300 mm、深 2600 mm

腔室容积：
约 240 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-260-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 2500 mm、高 2200 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 650 mm、高 500 mm、深 800 mm

腔室容积：
约 260 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
10 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-375-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm

腔室：
宽 600 mm、高 360 mm、深 1900 mm

腔室容积：
约 375 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-400-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2100 mm、深 650 mm

腔室：
宽 915 mm、高 750 mm、深 725 mm

腔室容积：
约 400 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化：
本设备具有一个自动移门

专用等离子设备 Tetra-420-LF-PC-PCB

技术参数：

开关柜：
宽 1600 mm、高 2100 mm、深 1200 mm

腔室：
宽 750 mm、高 800 mm、深 750 mm

腔室容积：
约 420 升

气源：
4 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
4 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-575-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm

腔室：
宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm

腔室容积：
约 575 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

部件支架：
22 层/（个）产品支架（可变型）

控制系统：
PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2200 mm、深 1200 mm

腔室：
宽 810 mm、高 810 mm、深 925 mm

腔室容积：
约 600 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC 版本 1

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室：
宽 1000 mm、高 1000 mm、深 600 mm

腔室容积：
约 600 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

自动化：
11 层/（个）产品支架

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-600-LF-PC 具有 600 升的真空容积，并配有 PC 控制系统，可用于批量生产（清洗、蚀刻和活化）。

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC 版本 2

技术参数：

开关柜：
宽 1800 mm、高 1800 mm、深 800 mm

腔室：
宽 580 mm、高 730 mm、深 1000 mm
门配有 2 个观察窗

腔室容积：
约 600 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件，自动搭配

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC 版本 1，其配有转鼓

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室：
∅ 1100 mm、深 700 mm

腔室容积：
约 600 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

部件支架：
转鼓（共配有 4 个篮子，每个篮子的容量为 30 升）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC 版本 2，其配有转鼓

技术参数：

开关柜：
宽 1000 mm、高 2200 mm、深 1800 mm

腔室：
∅ 1000 mm、深 750 mm、
门配有 2 个观察窗

腔室容积：
约 600 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
4 件（分别为 40 kHz）
自动搭配

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-600-LF-PC 具有 600 升的真空容积，并配有 PC 控制系统和一个转鼓，可用于批量生产（清洗、蚀刻和活化）。

专用等离子设备 Tetra-850-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1500 mm、高 2000 mm、深 800 mm

腔室：
宽 1300 mm、高 1800、深 400

腔室容积：
约 850 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-1200-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm

腔室：
宽 600、高 1000 mm、深 2000 mm

腔室容积：
约 1200 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
3 件（分别为 40 kHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用真空设备 Tetra-1600

技术参数：

腔室：
宽 900、高 700 mm、深 2600 mm

腔室容积：
约 1600 升

专用等离子设备 Tetra-2400-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室：
∅ 1100、深 2500 mm

腔室容积：
约 2400 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
4 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

部件支架：
转鼓（共配有 16 个篮子，每个篮子的容量为 30 升）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-2800-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室：
∅ 1200 mm、深 2500 mm

腔室容积：
约 2800 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
1 件 (40 kHz)
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-3000-LF-PC

技术参数：

开关柜 1：
宽 1200 mm、高 2100 mm、深 600 mm

开关柜 2：
宽 600、高 2200 mm、深 800 mm

腔室：
宽 1200 mm、高 1700 mm、深 1510 mm

腔室容积：
约 3000 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
4 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-4400-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1800 mm、高 1000 mm、深 800 mm

腔室：
长 1350 mm、深 1250 mm、高 2600 mm

腔室容积：
约 4,400 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
4 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

特性：
氧气发生器
鲁茨泵的等离子清洗源

专用等离子设备 Tetra-5600-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 1800 mm、高 2200 mm、深 1800 mm

腔室：
宽 2250 mm、高 2450 mm、深 1000 mm

腔室容积：
约 5600 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
6 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

部件支架：
通过推车进行填料
（可选：专用的转鼓）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-7000-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 2400 mm、高 2300 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 2400 mm、高 2100 mm、深 1400 mm

腔室容积：
约 7000 升

气源：
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
4 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-7300-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 600 mm、高 2100 mm、深 1200 mm

腔室：
宽 1400 mm、高 2100 mm、深 2500 mm

腔室容积：
约 7300 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
3 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-7500-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 3000 mm、高 2000 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 1500 mm、深 2000 mm、高 2500 mm

腔室容积：
约 7500 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
6 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra 8000-LF-PC

技术参数：

开关柜：
宽 2000 mm、高 1800 mm、深 1000 mm

腔室：
宽 1700 mm、深 2800 mm、高 1700 mm

腔室容积：
约 8000 升

气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器：
4 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）

控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)