Full PC-控制系统

为了控制我们的 PC 设备，我们研发了一种软件，其符合等离子体技术的特殊要求：

• 需通过一台 PC 进行控制。
• 控制系统集成于设备内部。
• 操作系统 Windows XP / Vista/7。
• 压缩空气监控器
• 用 10 个子程序便可以调整 100 个自动工艺流程（例如，用氧气清洗 10 分钟，然后用氢气进行还原）。
• 可输入评论。
• 以 Excel 文件和图表的形式保存工艺数据。
• 网卡 - 可在网络计算机上自动导出数据。
• 在 Windows 环境下操作程序。
• 两种模式：
  手动操作： 通过对话框手动操作设备。
  自动操作： 自动运行事先编写好的工艺流程。
• 参数：
  抽吸压力（直至工艺流程开始）
  最大抽吸时间
  气体质量流量（比例）
  工艺压力
  稳定时间
  高频功率
  高频的工艺时间
  吹扫时间
  通风时间
• 错误限制，用于： 质量流量、工艺压力、高频功率。
• 通过 PI/PID 控制器进行数字式压力控制，也就是说，不是为了对质量流量进行控制，而是为了真正的稳定压力。
• 压力控制是实时进行的，并贯穿整个工艺时间。
• 在实时模式下显示所有程序步骤。
• 安全相关的设置，例如，出于安全原因锁定的控制元件，只要未打开腔室门，就不允许进行抽吸。
• 接收器：将显示门开关、过热开关和真空开关的状态。
• 输入批号和操作员。
• 可按照工作小时数单独设置维护周期。
• 可设置压力控制的敏感性。
• 可对所有报警显示进行归档。
• 详细的错误信息，例如，气体 12 的实际气体流量与额定值存在显著差异。
• 也可以提供全屏模式的图表。
• 只有输入了密码，才可以进行编程（生产安全）。
• 在数据归档中，可随时查看所有保存的工艺流程，包括文件信息。
• 可对转鼓的时间周期作出规定（例如，停止 60 秒，转动 60 秒，停止 30 秒）。
• 气源： 可预设各个独立的质量流量控制器 (MFC's) 的额定值，并显示当前实际值。
• 设置不受工艺流程限制，但是可能受到设备和客户原因的限制（气体类型、质量流量控制器、压力调节器、冷却水、蓄能器的位置和类型）。
• 标准语言选择： 德语、英语、可选，可按照需要提供其他语言。
• 信号塔（红色和绿色信号）。

可按照需要提供以下选项：

• 如果要管理不同电极，则可以选择电极监控功能（例如，转鼓/层电极）。
• 工艺流程结束时按照需要提供声音信号。
• 可对蒸发器进行定时。
• 可以控制温度显示。
• 会显示当前冷却水温度。
• 远程诊断
• 通过标准打印机打印记录报告。打印机不包含在供货范围之内。
• 可调整图表布局。
• 直流偏置电源的监控器。
• 条形码读取器
• 射频发生器可以产生脉冲。
• 温度指示器
• PC 控制设备的强制性配置：
  - 本设备至少配备了 1 个 MFC。
  - 需要一个压力监控系统
  - 需要一个配有 PC 接口的发生器。