Yocto III
Die Plasmaanlage Yocto III kommt vorwiegend zum
- Aktivieren
- Reinigen
zum Einsatz.
Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 07458 - 99931-0
Grundausstattung
- Spannungsversorgung: 230 V
Gaszufuhr
- Prozessgas über Filter
- Durchfluss über Ventil (nicht regelbar)
- Belüftung über Filter
Vakuumkammer
- Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 50 mm, L 150 mm)
Elektroden
- Ein Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer
Steuerung
- Generator zur Plasmaerzeugung
- 2-Stufenschalter
- Startknopf
- Netzschalter
Generatoren
- Frequenzen: 100 kHz: Leistung 0 - 30 W
Vakuumpumpe
- Im Gehäuse eingebaut
- Ölfrei
- Saugleistung: 0,75 m3/h