2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：

• 小批量生产
• 分析 (REM, TEM)
• 医疗技术
• 灭菌
• 研究和开发部门
• 考古
• 纺织技术
• 塑料技术

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概况介绍 Zepto

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基本设备

• 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同
• 腔室容积：根据具体版本，分为 1.7 - 2.6 升
• 供电电源： 230 V

气源

• 针型阀
• 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子
  （大约 ∅ 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）
• 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子
  （大约 ∅ 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）

装载件

• 产品支架： 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

• 单层或多层

控制系统

• 手动型
• PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
• PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

• Pirani

计时器

• 数字型

发生器

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、 Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。